|
A porózus szilícium porozitásának a meghatározása kiváló példa arra, hogy egy adott mérési módszer miként fejleszthető más irányokba. Mivel ebben az esetben az elemösszetétel ismert volt, így a mikronyalábbal kombinált RBS módszert a porózus Si-ban a pórusok méretének és azok mélységi eloszlásának a meghatározására használtuk. Ha belegondolunk, hogy a pórusokban vákuum van, akkor kiderül, hogy nem is annyira egyszerű ezt a "semmi"-it megmérni. A kidolgozott módszer alkalmazható más porózus anyagok esetében is.
Együttműködő partnerek:
Ebben a témakörben megjelent tudományos publikáció:
A. Simon, F. Pászti, A. Manuaba, Á.Z Kiss, 3-dimensional scanning of ion-implanted porous silicon, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B158 (1999) 658-664.
Tudományos publikációk a Rutherford-visszaszórás témakörében További információ: a.simon@atomki.hu |