Felületi topográfiai vizsgálatok

Közismert, hogy az RBS módszer a mintába bejutó és az abból visszaszóródott ionok energiaveszteségének következtében érzékeny a minta vastagságára. Nem sima felületu, azaz felületi topogrfiával rendelkezo minta esetében ez azonban hátrányt jelent, mert a spektrumban el kell tudnunk különíteni a geometriai és az elemösszetételre vonatkozó információkat annak érdekében, hogy az analízis ne vezessen tévútra. Az ilyen esetekben szokásosan kiegészíto technikákat alkalmaznak, pl. atomero-mikroszkópot (AFM) vagy transzmissziós elektromnikroszkópot (TEM) a felület szerkezetének a feltérképezésére. Ilyen jellegu mérésekre adnak példát a vékonyrétegek körében végzett vizsgálataink.

Együttmuködo partner: Kántor Zoltán, Veszprémi Egyetem, korábban: Szegedi Egyetem, Lézerfizikai Tanszéki Kutatócsoport

Ebben a témakörben megjelent tudományos közlemények:

  • J. Slotte, A. Laakso, T. Ahlgren, E. Rauhala, R. Salonen, J. Räisänen, A. Simon, I. Uzonyi, Á.Z. Kiss, E. Somorjai, Influence of surface properties on the diffusion profiles obtained by Rutherford backscattering spectrometry, Journal of Applied Physics, vol. 87, No. 1, (2000) 140-143.
  • A. Simon, Z. Kántor, I. Rajta, T. Szörényi and Á.Z. Kiss, Micro-RBS as a technique for the determination of the surface topography of Bi film prepared by pulsed laser deposition, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 181/1-4 (2001) 360-366.
  • A. Simon, Z. Kántor, Micro-RBS characterisation of the chemical composition and particulate deposition on pulsed laser deposited of Si(1-x)Gex thin films, Nuclear Instruments and Methods B in Physics Research B 190/1-4 (2002) 351-356
  • Z. Kántor, A. Simon, M. Kovács: Scanning nuclear micropobe analysis of pulsed laser deposited thin films and particulates: experiments and numerical modeling, Applied Surface Science 208-209 (2003) 540-546.
Ugyanakkor a mikrométeres ionnyaláb elonyeit kihasználva, módszert dolgoztunk ki a felületi topográfiára vonatkozó információk pusztán a mikronyalábbal végzett RBS technikára alapozva. Speciális detector elrendezéssel, többnyire mérés közben, tehát „in situ” kiolvashatók a mérési adatokból. Így a mérési paraméterek könnyen és azonnal optimalizálhatók.

Ebben a témakörben megjelent tudományos közlemények:

  • A. Simon, F. Pászti, I. Uzonyi, A. Manuaba, and Á.Z. Kiss: Application of grazing exit angle in RBS microprobe measurements, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 136-138 (1998) 350-356
  • A. Simon, F. Pászti, I. Uzonyi, A. Manuaba, I. Rajta and Á.Z. Kiss, Observation of surface topography using an RBS microbeam, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 136-138 (1998) 344-349
  • A. Simon, F. Pászti, I. Uzonyi, A. Manuaba and Á.Z. Kiss: Effect of surface topography on scanning RBS microbeam measurements, Vacuum Vol. 50, No. 3-4 (1998) 503-506

További információ: a.simon@atomki.hu