APHA-code |
P21945 |
Authors |
Simon A.,  Sulyok A.,  Novák M.,  Juhász G.,  Lohner T.,  Fried M.,  Barna A.,  Huszánk R.,  Menyhárd M. |
Title |
Investigation of an ion-milled Si/Cr multilayer using micro-RBS, ellipsometry and AES depth profiling techniques. |
Megjelenés helye |
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 267 (2009) 2212 |
Impact factor |
1.156 |
Megnézem |
DOI
Hivatkozások (2) |