Publikáció

APHA-kód P22107
Szerzők Lakatos A.,  Csik A.,  Langer G. A.,  Erdélyi Z.,  Katona G. L.,  Daróczi L.,  Vad K.,  Tóth J.,  Beke D. L.
Cím Investigations of failure mechanisms at Ta and TaO diffusion barriers by secondary neutral mass spectrometry.
Megjelenés helye Vacuum 84 (2010) 130
Impakt faktor 1.048
Megnézem DOI   Hivatkozások (10)